「厚膜化」とは、文字通り「表面を覆う膜を厚くする」こと。 「厚膜化」は、膜の強度を向上させ、母材の寿命改善に有用です。 神戸製鋼所では、蒸発源の磁場を変更することで30μm以上の厚膜を実現する技術を確立しています。