装置の紹介
神戸製鋼所では、1986年よりPVD装置の研究開発・装置販売をおこなっています。PVDの成膜装置の納入実績は全世界で600台以上。切削工具、自動車部品、機械部品、金型、電子部品、航空部品、医療機器など、多様な分野で高い評価をいただいています。
私たちは、長年にわたって培ったコーティング技術、販売ノウハウを活かし、これからもコーティング業界をリードしていきます。
KOBELCOコーティング装置の3つの特徴
海外の安全規格やお客様独自の安全規格に合わせた仕様変更、ご希望の設置スペースに合わせたレイアウト調整など、お客様のご要望に合わせてフレキシブルな対応が可能です。
ご希望の皮膜性能に合わせて、蒸発源の種類や個数、成膜分布や成膜速度など各種仕様の変更が可能。ご予算に合わせたカスタマイズも承ります。
神戸製鋼所のPVDコーティング装置は、世界TOPの販売台数（外販向け）を誇ります。また、１台目をご購入されたお客様が、信頼性やメンテナンス性・作業効率などを高く評価し、追加購入されるケースも多数。実際の稼働を通じて、現場をよく知るお客様から多くの信頼とご愛顧を獲得してきました。
装置ラインアップ
AIPシリーズ（アークイオンプレーティング方式）
「AIP（Arc Ion Plating）シリーズ」は、TiNやTiAlNなどの窒化物を含んだコーティングに使用され、高硬度、高密着な皮膜を成膜するための装置です。
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AIP-iXシリーズアーク蒸発源ユニットとエッチングシステムを刷新した新型フラッグシップモデル。
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AIP-Sシリーズ神戸製鋼所が手がけるPVD装置の標準モデル。20年以上にわたるロングセラー。
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AIP-Gシリーズ大規模生産向けに、皮膜性能と膜厚分布の改善を目的として開発された大型装置。
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AIPocket費用、納期、サイズなどの観点から、お求めやすさを追求した汎用モデル。
UBMSシリーズ（スパッタ方式）
「UBMS（Unbalanced Magnetron Sputtering System）シリーズ」は、主に「DLC（Diamond-Like Carbon）膜」のコーティングに用いられており、部品や工具、金型など幅広い業界のお客様にご使用いただいています。
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