装置の紹介

ハイブリッドシリーズ

神戸製鋼所が持つ2種類の主要蒸発源を一つの装置に搭載するハイブリッド装置。
主にR&D用の装置として採用されており、様々な産業分野において高性能皮膜の研究開発や生産の可能性拡大に貢献しています。

ハイエンド＆オリジナルなコーティングが可能

2種類の蒸発源（AIPとUBMS）を搭載し、交互あるいは同時に放電することにより、複雑かつハイエンドなコーティングが可能です。

CE規格、UL規格、お客様独自の安全規格にも対応可能

海外の安全規格に合わせて仕様変更等の対応が可能です。また、お客様の社内で規定されている独自の安全規格についても、ご要望に合わせて対応することが可能です。