装置の紹介

「UBMSシリーズ」は、神戸製鋼所が独自開発した蒸発源を搭載したスパッタ装置です。磁場構成を最適化することにより、成膜時のプラズマを強化するとともに、膜質制御に有効な「イオンアシスト効果」の向上も実現。面粗度の良い膜を作り出すことができます。

スパッタで密着性を上げるための皮膜を成形し、さらにPE-CVD方式でDLCを成膜するといった処理もおこなえます。
※PE-CVD方式：ガスを成膜原料としてコーティングする技術。主にメタンやアセチレンを使用し、DLC膜を成膜します。PE-CVD方式はUBMS方式と比較して5倍以上の速度での成膜が可能であり、摺動特性を維持しつつ、UBMS方式の課題である「生産性」を向上させることが可能です。

海外の安全規格に合わせて仕様変更等の対応が可能です。また、お客様の社内で規定されている独自の安全規格についても、ご要望に合わせて対応することが可能です。