装置の紹介

AlCrN皮膜のアルミニウム含有比率と面粗度向上。
高いアルミニウム含有比率の立方晶AlCrN皮膜により、高硬度化と面粗度の向上を可能としました。立方晶AlCrN皮膜の金属元素のうち、アルミニウム含有率は約65at%が限界でしたが、新型蒸発源μ-ARCにより70at%以上のアルミニウム含有が可能となりました。

奥まった部分のエッチング性能を向上。
新型エッチングシステムMe-FAPEでは奥まった部分の密着性を向上し、処理空間内でのエッチング性能の均一性も改善しました。μ-ARCとMe-FAPEの組み合わせることにより、従来のハイエンド工具より寿命を大きく向上しました。

従来よりも飛躍的に広範囲な操業データをサンプリング可能な状態モニターシステムを採用しました。データの振り返りにより、トラブル発生時のスムーズな原因特定に貢献します。
また、毎バッチデータを蓄積し、装置の状態推移を可視化し、予知保全をしやすくします。