装置の紹介

AIP-iXシリーズ

AIP-iX series

「AIP-iXシリーズ」は、AIPコア技術であるアーク蒸発源ユニットとエッチングシステムを刷新し、画期的な新制御システムを搭載した、ワンパッケージの新型フラッグシップモデル。
お客様のイノベーションに貢献する、次世代に向けたコーティング装置です。

装置の特徴

1
新型蒸発源 μ-ARC(ミュー・アーク)

AlCrN皮膜のアルミニウム含有比率と面粗度向上。
高いアルミニウム含有比率の立方晶AlCrN皮膜により、高硬度化と面粗度の向上を可能としました。立方晶AlCrN皮膜の金属元素のうち、アルミニウム含有率は約65at%が限界でしたが、新型蒸発源μ-ARCにより70at%以上のアルミニウム含有が可能となりました。

2
新エッチングシステム Me-FAPE(エムイー・フェイプ)

奥まった部分のエッチング性能を向上。
新型エッチングシステムMe-FAPEでは奥まった部分の密着性を向上し、処理空間内でのエッチング性能の均一性も改善しました。μ-ARCとMe-FAPEの組み合わせることにより、従来のハイエンド工具より寿命を大きく向上しました。

3
新制御システム 状態推移可視化機能/大型モニタ

従来よりも飛躍的に広範囲な操業データをサンプリング可能な状態モニターシステムを採用しました。データの振り返りにより、トラブル発生時のスムーズな原因特定に貢献します。
また、毎バッチデータを蓄積し、装置の状態推移を可視化し、予知保全をしやすくします。

基本装置仕様
AIP-iX AIP-iX
装置全体フットプリント 装置本体:5m(W)x2m (D)
推奨設置面積:7m(W)x4.6m(D)
装置レイアウト ワンパッケージ
海外規格 UL/CEオプション
入力電圧 200-220V / 50-60 Hz
テーブル径 650 mm
処理高さ 350 mm
標準軸数 Φ130mm x 10軸、他
テーブル耐荷重 最大500 kg
蒸発源数/面(全体) 最大3段×4面
蒸発源 新型蒸発源 μ-ARC(オプションで既存蒸発源も選択可能)
エッチング源 新方式 Me-FAPE
制御システム 状態推移可視化機能
高速ロギング(オプション)
大型モニタ
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