装置の紹介
AIP-Gシリーズ
「AIP-Gシリーズ」は、自動車部品等の大量生産品向けに開発された大型装置です。
最新式の蒸発源を標準装備しており、高い生産性と高膜厚分布が特徴。主に部品メーカーに採用されており、2014年の販売開始以降、国内外を問わず20台ほどの納入実績があります。
装置の特徴
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高成膜レート、高成膜分布を実現
海外の安全規格やお客様独自の安全規格に合わせた仕様変更、ご希望の設置スペースに合わせたレイアウト調整など、お客様のご要望に合わせてフレキシブルな装置設計が可能です。
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フレキシブルな装置設計が可能
海外の安全規格に合わせて仕様変更等の対応が可能です。また、お客様の社内で規定されている独自の安全規格についても、ご要望に合わせて対応することが可能です。
基本装置仕様
AIP-G60R | AIP-G70R | |
設置スペース | 6m×4m | 7m×5m |
有効処理空間 | Φ 730mm× H 600mm | Φ 730mm× H 700mm |
蒸発源数 | 8面 | 12面 |
ワークテーブル | Φ90×18軸 自公転 | Φ95×18軸 自公転 |
搭載可ワーク重量 | 約300kg | 約300kg |
代表的な用途 | 自動車部品向け | 中型生産用 自動車部品向け |
電源 | 400V級 | 200V級 |