装置の紹介

「AIPocket」は、より多くのお客様にAIP成膜装置をご使用いただくことを目的に開発された汎用モデルです。
当社の最新アーク蒸発源である「SFC」や、最新エッチング機構「FAPE-S」を搭載し、高性能なコーティングが可能。また、ターゲット（皮膜材料）の交換作業に配慮した設計により、膜種の変更もスピーディーにおこなえます。さらに、真空排気システムを最適化することで、1バッチあたり3時間（弊社標準条件）のサイクルタイムを実現。少量多品種の生産において高い生産性を発揮します。
少量多品種の処理を手がける工具メーカーや受託メーカー等の納入実績が多いほか、コーティングの内製化を進めるお客様が、最初の1台として選ばれるケースも多くみられます。