装置の紹介
AIP-Sシリーズ
「AIP-Sシリーズ」は、リリースから20年以上にわたって長らくお客様にご愛顧いただいている商品です。
装置の基本設計を簡素化することでトラブル発生のリスクを大幅に抑制したほか、重要な装置・構成部品を露出させることでメンテナンス時の作業負荷も軽減。その信頼性の高さから、多くのお客様が「AIP-Sシリーズ」を追加購入されています。
これまでの納入実績は300台以上。工具メーカーを中心に幅広い業界で採用されています。
装置のラインナップは「R&D向け」「中規模生産向け」「大規模生産向け」の3種類。用途に応じてお選びいただけます。
装置の特徴
1
お客様のご要望に合わせて、装置カスタマイズが可能
ご希望の皮膜性能に合わせて、蒸発源の種類や個数、成膜分布や成膜速度など各種仕様の変更が可能。ご予算に合わせたカスタマイズも承ります。
蒸発源についての詳細2
CE、UL規格に加えて、お客様独自の安全規格にも対応可能
海外の安全規格に合わせて、仕様の変更等が可能です。また、お客様の社内で規定されている独自の安全規格についても、ご要望に合わせて対応することが可能です。
3
装置設置環境に合わせて、装置レイアウトもフレキシブルに対応可能
設置場所が限られている場合でも、電源やポンプ等の付帯設備を外部に設置するなど、状況に応じてフレキシブルな対応が可能です。
4
メンテナンス性に最大限配慮したデザイン構成
電源やポンプをパネル等で覆わない構造にすることで、重要な部品へのメンテナンス性が飛躍的に向上。また、両側開放式のチャンバードアを採用することで、バッチ間のメンテナンス時間の短縮も可能になりました。
基本装置仕様
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|---|---|---|---|
| 設置スペース | 5m×2m | 6m×6m | 7m×7m |
| 有効処理空間 | Φ220mm × H 120mm | Φ450mm × H 500mm | Φ700mm × H 700mm |
| 蒸発源数 | 2発 （最大1発×3面まで追加可能） |
3発×2面 （最大3発×4面まで追加可能） |
4発×2面 （最大4発×4面まで追加可能） |
| ワークテーブル | Φ90×3軸 | Φ130×6軸 自公転 | Φ130×12軸 自公転 |
| 搭載可ワーク重量 | 最大15kg | 最大180kg | 最大360kg |
| 代表的な用途 | R&D用 | 中規模生産用 工具・自動車部品・金型（中型） |
大規模生産用 工具・自動車部品・金型（大型） |
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