装置の紹介

蒸発源（カソード）紹介

アーク蒸発源ラインナップ

神戸製鋼所ではPVD事業開始当初より、中核技術として「蒸発源」の開発を続けてきました。
Sシリーズでは、それぞれに異なる特徴を持った4種類の蒸発源をラインアップ。ノーマルカソード（NC）、スーパーカソード（SC）、ファインカソード（FC）、スーパーファインカソード（SFC）の中から、用途に合った蒸発源をお選びいただけます。
また、適用するアプリケーションやお客様の事業内容などに応じて最適な蒸発源をご提案することや、装置をカスタム化（設計・仕様の変更）することも可能です。

ノーマルカソード、スーパーカソード、ファインカソード、スーパーファインカソードのそれぞれ特徴のある４タイプの蒸発源

ta-C成膜用アーク蒸発源

近年注目されている「ta-C皮膜（カーボン膜）」を成膜するための蒸発源を新開発。
AIP-Sシリーズでも「ta-C皮膜（カーボン膜）」の成膜が可能になりました。

KOBELCO カーボン蒸発源の特徴

1. Stable安定的な放電によりターゲット利用率の向上と長時間運転が可能
2. Smoothフィルター無しで平滑な皮膜を達成
3. Simple 簡単な構造でターゲット交換が容易

平板型およびロッド型ターゲットの開発を通じて培った経験と技術をもとに、磁場設計を最適化。ta-C成膜のための「丸棒型カーボン蒸発源」を開発しました。

ta-C膜とは

「水素フリーDLC（ta-C Tetrahedral Amorphaous Carbon）」

高硬度かつ特定の潤滑油下で摩擦係数が低いことが特徴。アルミ切削向け工具やバルブリフター等の自動車摺動部品に広く適用されています。

スパッタ式蒸発源（UBMS）

「UBMS（アンバランスドマグネトロンスパッタ）」は、神戸製鋼所が独自に開発したスパッタ式の蒸発源です。成膜原料となるターゲットにガスイオンを衝突させてスパッタ原子をワークに堆積させるため、「 AIP（アークイオンプレーティング）」よりも面粗度の良い皮膜を形成することができます。また、「DLC（ダイヤモンドライクカーボン）」の成膜が可能であるため、より平滑な面が求められる自動車部品や金型などの用途でご好評いただいています。

KOBELCO「UBMS」の特徴

1. 従来のスパッタ方式とは異なり、非平衡磁場を採用することにより、成膜時のプラズマを強化することが可能
2. 磁場構成を最適化することにより、膜質制御に有効なイオンアシスト効果の向上が可能
3. DLC皮膜の中間層の構成を工夫することにより、高い密着力を実現