设备介绍
UBMS®系列
“UBMS®（Unbalanced Magnetron Sputtering System）系列”主要作为“DLC（Diamond-Like Carbon）涂层”的涂层设备，深受零部件、工具和模具等各个行业客户的喜爱。
“DLC涂层”的性质很容易受涂层方法、处理温度的影响，而我们凭借多年积累的经验和知识，成功解决了这个问题。我们还可以提供“DLC涂层的附着力”相关的解决方案，这是一个长期困扰大家的问题。
设备特点
1
搭载自主研发的溅射蒸发源
“UBMS®系列”是一种搭载有神户制钢所自主研发蒸发源的溅射设备。通过优化磁场配置，在涂层时强化等离子体，同时改善对于膜质量控制非常重要的“离子辅助效果”。可以制造出具有良好表面粗糙度的膜。
蒸发源详情2
也可利用PE-CVD方法进行DLC涂层
还可实现这样的处理：先通过溅射形成可提高附着力的涂层，然后以PE-CVD方法涂层DLC膜。
※PE-CVD方法：将气体作为涂层原料的涂层技术。主要使用甲烷或乙炔涂层DLC膜。与UBMS®方法相比，PE-CVD方法能够以5倍以上的速度涂层，并且可在维持润滑特性的同时提高“生产效率”，而这正是UBMS®方法的问题所在。
3
符合CE标准、UL标准，还可满足客户自己的安全标准
可根据海外安全标准变更规格。此外，对于客户公司自己规定的内部安全标准，也可以根据要求应对。
基本设备规格
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| 安装空间 | 4m×3.5m | 5m×6m | 6m×7m |
| 工件装夹空间 | Φ 200mm × H 120mm |
Φ 450mm × H 400mm |
Φ 700mm × H 800mm |
| 电弧蒸发源 | 2面 | 4面 | 7面 |
| 工件转架台 | Φ90×3轴 行星式回转工作台 | Φ130×6轴 行星式回转工作台 | Φ130×12轴 行星式回转工作台 |
| 可搭载工件重量 | 最大20kg | 最大180kg | 最大360kg |
| 代表性用途 | 用于研发 | 用于中等规模生产 汽车零部件量产 |
用于大规模生产 汽车零部件量产 |
