PVDコーティングとは？ |ドメイントップ

PVDコーティングとは？

神戸製鋼所は、PVDコーティング装置の研究開発・装置販売を行っております。神戸製鋼所のPVDコーティング装置は、安定した操作性と容易なメンテナンス性で、国内外問わず高い評価を頂いております。

冶具を用いて処理基材（ワーク）をワークテーブル上に搭載します。
ワークどうしの干渉や処理中の落下がないように注意が必要です。

真空容器内の空気を、コーティングに影響がないレベル（ベース圧）まで排出します。許容量以上の空気が容器内に残っていると、次の「予熱」工程でワークの表面に酸化膜が形成され、密着不良の原因になります。

ワークの表面に吸着している不純物（主に水分）を蒸発させます。
ごく微量の水分でも密着不良の原因となるため、適切な温度管理・制御によってすべてのワークに十分な予熱を行います。

アーク放電によってArをプラズマ化→ワークに大電流を流す→Arイオンを高速で衝突させて不純物を除去

ワークの表面に吸着している不純物（主に酸化膜）をArイオンエッチングで除去します。強力なArガスプラズマの発生と均一な制御によって、理想的なボンバード効果と優れた皮膜密着性を実現します。

ターゲットを蒸発・プラズマ化し、ワークの表面に高速で衝突させることで膜を形成します。複数のターゲットを用いることで合金膜（積層膜）の形成も可能。また、容器に注入するガスの種類や量を変えることで、多元素系膜の形成も可能になります。

容器内に大気や窒素を注入します。
ワークの素材によっては変色（テンパーカラーの付着）の可能性があるので、大気を注入するタイミングに注意が必要です。