PVDコーティング装置
新型フラッグシップモデル
AIPコア技術であるアーク蒸発源ユニットとエッチングシステムを刷新し、画期的な新制御システムを搭載した、ワンパッケージの新型フラッグシップモデル。
ABOUT
KOBELCOの
PVDコーティング
装置の特徴
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豊富な皮膜ラインナップからご提案が可能
神戸製鋼所の装置では、様々な膜種のコーティングが可能です。お客様の用途に応じ、最適な膜種やコーティングレシピをご提供いたします。
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実績と信頼のPVDコーティング装置
神戸製鋼所は1986年より600台以上の装置を販売し、世界各国のお客様に長くご愛顧いただいています。確かな実績に基づいたクオリティの装置を責任を持って納入いたします。
AIP-iX MOVIE
4分でわかるAIP-iX
AIP-iXの3つのポイント
00:33
新型蒸発源 μ-ARC（ミュー・アーク）
00:57
新エッチングシステム Me-FAPE（エムイー・フェイプ）
02:05
新制御システム 状態推移可視化／大型モニタ
03:20
ワンパッケージ
03:53
新型蒸発源 μ-ARC（ミュー・アーク）
AlCrN皮膜のアルミニウム含有比率と面粗度向上
高いアルミニウム含有比率の立方晶AlCrN皮膜により、高硬度化と面粗度の向上を可能としました。
立方晶AlCrN皮膜の金属元素のうち、アルミニウム含有率は約65at%が限界でしたが、新型蒸発源μ-ARCにより70at%以上のアルミニウム含有が可能となりました。この技術をベースとした皮膜開発トレンドの到来が予想されます。AIP-iXシリーズはこれからのお客様の皮膜開発に貢献します。
新エッチングシステム
Me-FAPE（エムイー・フェイプ）
奥まった部分のエッチング性能を向上
新型エッチングシステムMe-FAPEでは奥まった部分の密着性を向上し、処理空間内でのエッチング性能の均一性も改善しました。
μ-ARCとMe-FAPEを組み合わせることにより、従来のハイエンド工具より寿命を大きく向上しました。
新制御システム
状態推移可視化機能／大型モニタ
従来よりも大幅に広範囲な操業データをサンプリング・表示可能な状態モニターシステムを採用することで、トラブル発生時のスムーズな原因特定に貢献します。また、蓄積されたバッチ毎のデータの状態推移をグラフ化し、予防保全をし易くしました。
SPECIFICATION
主要スペック
- 装置全体フットプリント
- 装置本体：5m(W)x2m (D)
推奨設置面積：7m(W)x4.6m（D） - 装置レイアウト
- ワンパッケージ
- 海外規格
- UL/CEオプション
- 入力電圧
- 200-220V / 50-60 Hz
- テーブル径
- 650 mm
- 処理高さ
- 350 mm
- 標準軸数
- Φ130mm x 10軸、他
- テーブル耐荷重
- 最大500 kg
- 蒸発源数/面（全体）
- 最大3段×4面
- 蒸発源
- 新型蒸発源 μ-ARC（オプションで従来蒸発源も選択可能）
- エッチング源
- 新方式 Me-FAPE
- 制御システム
- 状態推移可視化機能
高速ロギング（オプション）
大型モニタ
